2023학년도 1학기 물리학과 세미나를 안내해 드립니다.
•연사: 김종안 교수 (숭실대학)
•제목: 반도체 계측/검사 기술의 소개
•초록: 실리콘 웨이퍼로부터 반도체 칩을 만들기 위해 반도체 제조공정을 진행함에 있어서 원하는 대로 구조가 형성되었는지, 그 과정에서 불량이 발생하지 않았는지를 확인하는 과정은 필수적이며, 구조가 미세화 되고 공정 기간이 길어질 수록 그 중요성은 더해가고 있다. 이번 세미나에서는 이렇게 중요해진 반도체 계측/검사 기술의 주요 내용을 설명하고 앞으로 해결해야 하는 숙제들에 대해서도 간략히 소개하고자 한다.
•일시: 6월 7일 수요일 오후 4시 30분
•장소: 베어드홀 324호
많은 참여를 부탁드립니다.